| 摘要 |
Es wird eine Verarbeitungskammer bzw. eine Kammereinrichtung vorgeschlagen, welche eine Energiewellenquelle und eine gekrümmte kugelförmige Oberfläche umfasst, wobei die gekrümmte kugelförmige Oberfläche der Kammer wenigstens einen Fresnelreflektor zum Reflektieren der Energiewellen aufweist, welche von der Energiewellenquelle abgegeben worden sind. Die Energiewellenquelle wird auf eine Plattform projiziert, so dass die Energiewellenquelle im Zusammenhang mit der gekrümmten kugelförmigen Oberfläche betreibbar ist. Des Weiteren kann die Energiewellenquelle eine Mikrowellenquelle oder eine Lichtquelle sein. Es ist zu beachten, dass die gekrümmte kugelförmige Oberfläche ein Fresnelreflektor, eine gewellte kugelförmige Oberfläche mit einem Abschnitt darauf, welcher durch ein Fresnelreflektor gebildet ist, eine gekrümmte kugelförmige Oberfläche mit einem Abschnitt darauf, welcher durch wenigstens zwei Fresnelreflektoren gebildet ist, und/oder eine Oberfläche sein kann, welche im Gesamten durch eine Vielzahl von Fresnelreflektoren gebildet ist. Die Verarbeitungskammer, wie sie durch die vorliegende Erfindung offenbart ist, kann die Energiestärke, den Bereich und die Energiegleichförmigkeit der Projektionsregionen signifikant steigern, so dass der benötigte Abstand der Einrichtung und auch die Kosten der Ausrüstung und die Kosten der Herstellung verringert werden können.
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