除尘装置

摘要

本发明系关于用以除去附着于板状工件的尘埃之除尘装置的发明。上述除尘装置系具备复数个可除去上述工件侧面的尘埃之专用侧面清扫单元。侧面清扫单元系具有按压手段，使得可确实地接触于工件的侧面，各自的侧面清扫单元系配置于具有上述单元之侧面清扫部的旋转机构周围，当欲进行上述单元之更换时，可容易地进行更换。