铜表面之表面还原、钝化、防止腐蚀及活化用之系统与方法

摘要

一种钝化裸露的导电材料之系统与方法，其包含放置一基材至处理室及注入含氢物种至处理室。含氢物种电浆在处理室内形成。表面层物种从基板的上表面开始还原。从处理室清除已还原的表面层物种。