发明名称 SCREW TYPE FLEXIBLE LINE USED FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENTS
摘要
申请公布号 KR20050066241(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030097504 申请日期 2003.12.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SUNG HO;LEE, JAE CHUL;HA, SANG CHEOL;JANG, YOUNG HO;JOO, YOUNG KYU
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址