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Equipo de epitaxia que comprende un recinto de epitaxia al vacío que contiene un soporte de substrato y, al menos, una célula de evaporación al vacío del material de epitaxia cerrada por un diafragma que presenta, al menos, un orificio y que comunica con el recinto de epitaxia por una brida de unión, que comprende, además, una placa colocada frente al citado diafragma perforado, caracterizado porque la citada placa es móvil de modo que la distancia de la placa a la superficie exterior del diafragma es variable y presenta una sección correspondiente a la sección del citado diafragma: formándose el haz molecular a nivel de una zona que rodea la placa.
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