基板塑制装置,碟形基板及基板塑制方法

摘要

本案揭示一种塑制方法，其能够使塑制周期缩短，同时保持经由分离过程塑制的碟形基板的平面度。具有粗糙表面的分离阻抗部件系在符合将被塑制的碟形基板的外周之位置形成在模的内表面上。分离阻抗部件的内表面系藉由分布点或线或其组合在模的内表面上而粗糙化。当碟形基板与打印器分离时，分离阻抗部件产生阻抗在碟形基板的外周上，且因此保持碟形基板的平面度，以及，当碟形基板与模分离时，改善碟形基板的分离能力，因此缩短塑制周期的时间长短。