发明名称 | 基于A1材料的掺铜金属布线工艺 | ||
摘要 | 本发明是一种基于Al金属布线的工艺,其主要特点是:利用物理淀积的方法,在同一台设备中连续淀积Ta、TaN、Ta、Al、TaN等多层薄膜,其中,Al金属中加入Cu和Si原子,以提高Al金属布线的抗电迁移能力。在Al层下面为复合阻挡层,可防止Al和Cu向硅片和介质中的扩散,Al金属层的淀积采用低温和高温两步法淀积。低温淀积的Al籽晶层具有良好的致密性,高温淀积Al层具有较高的、填孔性和回流效果。在Al金属层上面的TaN层,可以作为阻挡层,作为顶部覆盖层和光刻的抗反射层。这种基于Al的布线工艺,可以适用于目前Al金属布线的大规模集成电路生产线。 | ||
申请公布号 | CN1200456C | 申请公布日期 | 2005.05.04 |
申请号 | CN02137196.2 | 申请日期 | 2002.09.27 |
申请人 | 上海华虹(集团)有限公司 | 发明人 | 徐小诚;缪炳有 |
分类号 | H01L21/768 | 主分类号 | H01L21/768 |
代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人 | 陶金龙;陆飞 |
主权项 | 1、一种基于Al金属的布线工艺,其特征在于利用物理淀积的方法,在同一台设备中依次连续淀积Ta、TaN、Ta、Al、TaN多层薄膜,具体步骤为:(1)首先淀积一层Ta阻挡层;(2)在Ta层上面淀积一层TaN阻挡层;(3)接着淀积一层Ta阻挡层;(4)再淀积Al层,Al淀积是用含Cu和Si的金属靶,采用低温和高温两步法淀积;(5)在Al层上面淀积一层TaN阻挡层;(6)Al金属回流。 | ||
地址 | 200020上海市淮海中路918号18楼 |