发明名称 | 导光板模仁制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种导光板模仁制造方法,其包括:准备一基板;在该基板上涂布光阻剂;对上述涂布光阻剂之基板进行曝光及显影,于基板上形成光阻图案;于上述光阻图案及基板上沈积一层镍薄膜;于上述镍薄膜上以无极电镀法电铸镍;将沈积之镍薄膜及镍电铸层与基板及余留光阻剂剥离,得到导光板模仁。 | ||
申请公布号 | TW200506076 | 申请公布日期 | 2005.02.16 |
申请号 | TW092122473 | 申请日期 | 2003.08.15 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 陈杰良 |
分类号 | C23C14/00;H01L21/027 | 主分类号 | C23C14/00 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街二号 |