| 摘要 |
本发明涉及一种以区域方式涂布一防止涂层用之隔离剂所用之方法，其系在真空室中在可移动之基板(10)上藉由一蒸发器(1)来进行，该真空室具有至少一金属蒸发器(33)，该隔离剂在第一室(2)中藉由加热而蒸发且以蒸气形式经由至少一调整阀(12)而转向至设有至少一喷嘴(8)(其对准各别之基板(10))之第二室(6)中。为了使已蒸发之平面图样，宽度和层厚度在狭窄之极限中保持定值且使蒸气出口可立刻中断，则a)蒸发器之温度尽可能广泛地保持着定值，b)蒸气由第一室(2)经由至少一调整阀(12)而受到控制且在第二室(6)中以及在该最初是并联之第一室(2)中导引到至少一喷嘴(8)中，c)该调整阀(12)在导带静止或无基板(10)时关闭且保持着关闭。至少一调整阀(12)较佳是一种比例阀，其配置在第一室(6)和第二室(6)之间。 |
