| 主权项 |
1.一种驱动电压通路与射频信号隔离的微机电系统开关，其特征是在衬底(1)上覆盖着一薄层绝缘介质层(2)，在绝缘介质层(2)上有一射频输入传输线(3)、一射频输出传输线(3′)、一地线(4)、一上控制电极延伸区(14)、一下控制电极(9)、两条电气连接金属线(15)以及一上控制电极压焊盘(12)和一下控制电极压焊盘(13)；在射频输入传输线(3)和射频输出传输线(3′)之间有一缝隙，下控制电极(9)与下控制电极压焊盘(13)之间由电气连接金属线(15)相连，且下控制电极(9)上表面有绝缘介质层(10)，上控制电极延伸区(14)与上控制电极压焊盘(12)之间由电气连接金属线(15)相连；在上控制电极延伸区(14)上制作有用于架设悬臂梁(11)的突起的导电的锚区(5)，悬臂梁(11)由上面的金属层和下面的绝缘介质层(7)组成，并一端固定于锚顶部，悬臂梁(11)上面的金属层即是上控制电极(8)，它通过锚区(5)与上控制电极延伸区(14)电气相连，悬臂梁(11)的悬空部分绝缘介质层(7)的端部上有一小突起金属触点(6)，并正好位于射频输入传输线(3)与射频输出传输线(3′)之间缝隙的上方。 |
