发明名称 Verfahren zur AEtzbehandlung eines Halbleiterkoerpers
摘要
申请公布号 DE1803619(A1) 申请公布日期 1969.05.29
申请号 DE19681803619 申请日期 1968.10.17
申请人 RADIO CORP.OF AMERICA 发明人 PAUL HEIMAN,FREDERIC
分类号 H01L21/00;H01L21/316 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址