具有减小导通电阻的双扩散场效应晶体管

摘要

提供一种双扩散场效应晶体管及其形成方法。该方法首先提供第一导电类型的衬底(300)。接着，将第一导电类型的至少一种掺杂剂种类引入衬底表面，以致衬底具有不均匀的杂质分布。在衬底上形成第一导电类型的外延层(304)，在外延层内形成一个或多个第二导电类型的体区(316)。然后在体区内形成多个第一导电类型的源区(340)。最后，形成与体区相邻的栅极区。

主权项

1.一种形成双扩散场效应晶体管的方法，所述方法包括：提供第一导电类型的衬底；将所述第一导电类型的至少一种掺杂剂种类引入衬底表面，以致衬底具有不均匀的杂质分布；在所述衬底上形成第一导电类型的外延层；在所述外延层内形成一个或多个第二导电类型的体区；在所述体区内形成多个所述第一导电类型的源区；以及邻近所述的一个或多个体区形成栅极区。