具有凹状微透镜的图象传感器

摘要

本发明公开了一种具有凹状微透镜结构的图象传感器。该图象传感器包括多个形成于半导体衬底内的象素，每个象素都含有光敏感元件。进一步，在象素的上方形成具有第一折射系数的基础材料。在基础材料内于光敏感元件的上面形成微透镜空腔，该微透镜空腔成凹状。最后，在微透镜空腔内形成填充材料，该填充材料具有第二折射系数，其高于该第一折射系数。

主权项

1.一种图象传感器，包括：多个象素，其形成于半导体衬底内，每一个象素包含光敏感元件；在该多个象素上面形成的基础材料，该基础材料具有第一折射系数；在该光敏感元件上面、在该基础材料内形成的微透镜空腔，该微透镜空腔成凹状；和填充材料，其在该微透镜空腔内形成，该填充材料具有第二折射系数，第二折射系数高于第一折射系数。