发明名称 |
FABRICATION OF MAGNESIUM DIBORIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILMS AND ELECTRONIC DEVICES BY ION IMPLANTATION |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003282243(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.03 |
申请号 |
AU20030282243 |
申请日期 |
2003.11.14 |
申请人 |
UNIVERSITY OF SURREY |
发明人 |
GUOSHENG SHAO;NIANHUA PENG;CHRISTOPHER JEYNES;ROGER WEBB |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/48;C23C14/58;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/48;H01L39/14 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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