具有升降机构之基板载台

摘要

一种具有升降机构之基板载台，其包含有一承载盘、一支撑环及复数个分离式顶针，利用该支撑环顶推复数个分离式顶针，以向上托起承载盘上之基板，该支撑环之磁性顶推部系设有磁性产生装置，用以吸引顶针往下，该支撑环与该些顶针系为非机械结合，避免因顶针卡死于该承载盘时造成支撑环或顶针损伤。伍、(一)、本案代表图为：第__2__图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明：10 承载盘 11 通孔20 顶针 21 顶端 22 底端23 定位环30 支撑环 31磁性顶推部40 升降机构

主权项

1.一种基板载台,系包含:一承载盘,设有复数个通孔,该承载盘用以承载一基板;复数个分离式顶针,每一顶针系具有一顶端及一底端,该些顶端系经由于该些通孔用以顶升该基板,该些底端系具有铁磁性物质[ferromagnetic material]或是磁性物质;及一支撑环,具有复数个磁性顶推部,对应于该些顶针之底端,当该支撑环下降时该些磁性顶推部系吸引该些顶针之底端。2.如申请专利范围第1项所述之基板载台,其中该支撑环系设有一下降下死点,当该支撑环到达下死点时,该些磁性顶推部系与该些顶针为非接触。3.如申请专利范围第1项所述之基板载台,其中该承载盘系为圆盘状晶圆承载盘。4.如申请专利范围第1或3项所述之基板载台,其中该承载盘系为静电吸盘[electrostatic chuck]。5.如申请专利范围第1项所述之基板载台,其中该磁性顶推部系具有电磁铁。6.如申请专利范围第1项所述之基板载台,其中该磁性顶推部系具有永久磁石。7.如申请专利范围第1项所述之基板载台,其中该些顶针之底端系形成有一铁磁薄膜。8.如申请专利范围第1项所述之基板载台,其中该磁性顶推部系设有近接感测器。图式简单说明:第1图:依本创作,一种具有升降机构之基板载台在支撑盘上升状态之截面图;及第2图:依本创作,一种具有升降机构之基板载台在支撑盘下降状态之截面图。