正型感光性树脂先质及其制造方法

摘要

本发明提供一种可以碱液显影的高光敏度的感光性树脂组合物，它是一种正型感光性树脂先质组合物，其特征在于，其中含有(a)结构单元间的键以通式(1)表示的结构单元为主要成分的聚合物和(b)光酸发生剂，通过光照射及其后续的显影可以形成图案，上述聚合物1g中含有的羧基总量为0.02mmol以上、2.0mmo1以下。R¹为具有至少2个以上碳原子的3价～8价有机基团，R²为具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团、R³为氢或碳原子数1～20的有机基团。n为3～100000的整数，m为1或2，p、q为0～4的整数，且p+q>0。

主权项

1.一种正型感光性树脂先质组合物，其特征在于，其中含有(a)以通式(1)表示的结构单元为主要成分的聚合物和(b)光酸发生剂，上述聚合物1g中含有的羧基总量为0.02～2.0mmol/g，R¹为具有至少2个以上碳原子的3价～8价有机基团，R²为具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团、R³为氢或碳原子数1～10的1价有机基团，但不是全部都为氢或全部都为碳原子数1～10的1价有机基团；n为3～100000的整数，m为1或2，p、q为0～4的整数，且p+q＞0。