| 主权项 |
1.一种微机械电磁开关(100),其包含:一电介质基板(110);一挠曲之横梁(120),其系连接至该基板(110);一第一信号路径板(150),其系连接至该横梁(120);一第二信号路径板(170),其系连接至该基板(110);一致动器板(160),其系连接至该横梁(120);以及一吸附板(140),其系连接至该横梁(120);其中一封装(190)系与围绕该微机械电磁开关(100)所构成之该一室(195)连接,并且其中该室(195)系以电介质的过氟氮碳化物填充。2.如申请专利范围第1项之微机械电磁开关(100),其中该过氟氮碳化物大体上系为一惰性流体。3.如申请专利范围第2项之微机械电磁开关(100),其中该流体具低黏性。4.如申请专利范围第3项之微机械电磁开关(100),其中该挠曲之横梁(120)系为一悬臂梁。5.如申请专利范围第3项之微机械电磁开开(100),其中该挠曲之横梁(120)系为一两端部固定之横梁。6.如申请专利范围第3项之微机械电磁开关(100),其中在该挠曲之横梁(120)、该吸附板(140)与该第一信号路径板(150)中存在有穿孔(198)。7.一种用于切换电气信号的微机械电磁开关(100),其系包含一挠曲之横梁(120)以及一致动装置用于切换该电气信号,其中该微机械电磁开开(100)系由一电介质基板(190)所围绕,该基板(190)提供一气密室(195)其中以一电介质流体填充。8.如申请专利范围第7项之微机械电磁开关(100),其中该流体系为一过氟氮碳化物。9.如申请专利范围第8项之微机械电磁开关(100),其中该过氟氮碳化物大体上系为惰性、具低黏性并具有低分子量。10.如申请专利范围第7项之微机械电磁开关(100),其中该挠曲之横梁(120)系为一悬臂梁。11.如申请专利范围第7项之微机械电磁开关(100),其中该挠曲之横梁(120)系为一横梁具有一第一与一第二端部,其在该第一及第二端部处系为固定的。图式简单说明:第1图系为本发明之微机电系统(MEMS)开关的横截面侧视图。第2图系为本发明之具有穿孔之压电的横梁,其之长臂的底视图。第3图系为本发明之微机电系统(MEMS)开关的可交替的横截面视图。 |
