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发明名称 SPUTTERANLAGE MIT ZWEI LÄNGSERSTRECKTEN MAGNETRONS
摘要
申请公布号 AT208959(T) 申请公布日期 2001.11.15
申请号 AT19970922892T 申请日期 1997.04.29
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 STRUEMPFEL, JOHANNES;BEISTER, GUENTER;ERBKAMM, WOLFGANG;REHN, STANLEY
分类号 H05H1/46;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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