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发明名称 Method and apparatus for optical polishing
摘要
申请公布号 EP1048404(A3) 申请公布日期 2001.08.29
申请号 EP20000114533 申请日期 1996.06.17
申请人 OPTICAL INVESTMENTS LIMITED 发明人 WALKER, DAVID DOUGLAS;BINGHAM, RICHARD GEORGE;KIM, SUG-WHAN;PUTTICK, KEITH ERNEST
分类号 B24B47/12;B24B13/01;B24B13/015;B24B29/02;B24B37/00;B24B41/04;B24B47/14;B24D13/14;(IPC1-7):B24B13/015 主分类号 B24B47/12
代理机构 代理人
主权项
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