| 摘要 |
<p>Ein Verfahren dient zur optischen Positionsbestimmung eines bewegbaren Meßobjektes (10), insbesondere eines Spiegels oder Reflektors, wobei ein mittels einer Lichtquelle (2) erzeugter Meßstrahl (6) vom Meßobjekt (10) reflektiert wird und auf einen positionsempfindlichen Lichtdetektor (12) gelangt, mittels welchem eine Umwandlung in eine der Position des Meßobjekts (10) entsprechende Information durchgeführt wird. Es liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren dahingehend auszubilden, daß eine schnelle optische Messung der Position von Spiegeln, insbesondere Drehspiegeln, mit einem einfachen optischen Aufbau realisierbar ist. Zur Lösung der Aufgabe wird vorgeschlagen, daß der Meßstrahl (6) mittels eines optischen Systems (8) auf den Lichtdetektor (12) fokussiert wird und daß aus den mittels des Lichtdetektors (12) erhaltenen Meßwerten ein dem Schwerpunkt oder dem Maximum (Is) der Intensitätsverteilung des fokussierten Meßspots entsprechendes Signal bestimmt wird.</p> |
