| 主权项 |
1.一检测气体中低浓度硷污染的检测系统,其特征 在于,该检测系统是设成检查气体中的多种胺,产 生一与存在的多种胺质子结合特性相关的化学计 量读数,该检测系统包括至少两个待检气体试样通 过的通道,至少一个转换器使多种胺转换成NO,和至 少一个化学发光NO检测器产生表示所穿过空气中 的NO浓度的信号,其中总胺浓度是根据已转换气体 试样中检出的NO浓度与未转换气体试样中检出的NO 浓度之间的差异来确定。2.一检测气体中低浓度 硷污染的检测系统,其特征在于,该检测系统是设 成检查气体中的多种胺,产生一与存在的多种胺质 子结合特性相关的化学计量读数,该检测系统包括 至少两个待检气体试样通过的通道,一除胺器不论 对强或弱胺都具有高效清除能力,并被结合到其中 一个通道上,一转换器使多种胺转换成NO,和至少一 个化学发光NO检测器产生表示穿过空气中NO浓度的 信号,其中总胺浓度是根据穿过除胺器的已转换气 体试样中检出的NO浓度与绕过除胺器已转换气体 试样中检出的NO浓度之间的差异来确定。3.如申请 专利范围第1或2项所述的检测系统,其中化学发光 NO检测器是在125毫巴压力下操作,适合检测低浓度 胺。4.如申请专利范围第2项所述的检测系统,进一 步包括一位于NO检测器上游的减压器和一位于NO检 测器下游的真空泵。5.如申请专利范围第2项所述 的检测系统,其中这些通道共用一共用转换器和一 共用检测器,还包括一系统,该系统循环地导引试 样气体料从这些通道穿过共用转换器和共用检测 器。6.如申请专利范围第5项所述的检测系统,其中 除胺器被结合在两个通道仅仅其中一个上。7.如 申请专利范围第6项所述的检测系统,包括一多路 阀,该阀设成选择那个通道的空气可流入转换器。 8.如申请专利范围第7项所述的检测系统,包括一结 合在多路阀上的泵,该泵使通过一个或两个通道的 气流基本上保持稳定的状态。9.如申请专利范围 第7项所述的检测系统,包括第二个多路阀,该阀位 于除胺器的上游和多路阀的上游以隔离除胺器。 10.如申请专利范围第6项所述的检测系统,包括分 离的减压器在每个通道内,每个减压器被校准使具 有除胺器的通道内压降等于其它通道内的压降。 11.如申请专利范围第2项所述的检测系统,因此除 胺器是设成仅仅清除从其中一个通道穿过的空气 中有影响的多种胺。12.如申请专利范围第11项所 述的系统,其被与一光敏抗蚀剂系统组合,以进行 对有限多种胺特别敏感的工艺,其中除胺器是设成 有选择地清除对该工艺特别敏感的有限类胺。13. 如申请专利范围第1或2项所述的检测系统,其中通 道由玻璃管材构成。14.如申请专利范围第13项所 述的检测系统,其中玻璃管材涂有矽石层。15.如申 请专利范围第13项所述的检测系统,其中玻璃管材 基本上沿其全长可加热,以减少胺在管壁上的沉积 。16.如申请专利范围第13项所述的检测系统,其中 玻璃管材是用环氧树脂加固的。17.如申请专利范 围第2项所述的检测系统,还包括一控制系统,该系 统能操纵一程序的执行,以降低NO和NO2的浓度在计 算周期内的变异幅度。18.如申请专利范围第17项 所述的检测系统,其中程序是根据移动平均値选定 的以消除测量中的干扰,其方式为当平均循环数增 加时,在规定时间以外消减干扰。19.如申请专利范 围第17项所述的检测系统,其中控制系统可操纵一 实际程序的执行,该程序根据取样费用控制一监控 系统中多个取样位置的取样频率,使最灵敏的和最 重要的点用最大的频率进行监控。20.如申请专利 范围第17项所述的检测系统,其中控制系统可操纵 一系列程序的执行,这些程序通过提供一自动定向 器根据不断增加的污染浓度确定胺渗漏位置。21. 如申请专利范围第20项所述的检测系统,其中部分 检测系统是可移动的,而且可用一些程序来操作以 确定胺渗漏位置。22.如申请专利范围第17项所述 的检测系统,其中控制系统可操纵一系列程序的执 行,通过对这些通道确定取样策略,控制一多通道 硷污染物监视器,其中取样策略是根据这些通道取 样频率超过一预定値确定的。23.如申请专利范围 第17项所述的检测系统,其中控制系统可操纵一系 列程序的执行,通过对一些新通道确定取样策略, 控制一多通道硷污染物监视器,其中取样策略是根 据目前通道取样频率超过一预定値确定的。24.如 申请专利范围第17项所述的检测系统,其中控制系 统可操纵一系列程序的执行,控制一多通道硷污染 物监视器,该监视器根据测出的污染物平均浓度相 似性计算监控通道的顺序。25.一监控取样空气中 分子胺污染的检测系统,该系统包括: 第一个空气通道传送一参考空气试样; 第二个空气通道传送一目标空气试样; 一转换器被结含在第二空气通道上,使目标空气试 样中的分子胺污染物转换成为NO; 一化学发光NO检测器系统被结合到第一和第二空 气通道上,以确定参考空气试样和目标空气试样中 的NO浓度;及 一减压系统被结合在化学发光NO检测器上,使化学 发光NO检测器的操作压力降到150毫巴或更低的水 平上; 其中取样空气中总胺污染物浓度可根据参考空气 试样和目标空气样中所确定NO浓度之间的差异来 确定。26.如申请专利范围第25项所述的检测系统, 其中该减压系统包括一限流器。27.如申请专利范 围第25或26项所述的检测系统,其中第一和第二空 气通道有各自特性流径,减压系统包括一位于化学 发光NO检测器上游的减压器,还有一空气通道,其特 性流径小于第一和第二空气通道的特性流经。28. 如申请专利范围第27项所述的检测系统,其还包括 一位于化学发光NO检测器下游的真空泵。29.如申 请专利范围第25项所述的检测系统,其中可操作减 压系统来降低化学发光NO检测器的操作压力到次 大气压水平,该水平足以达到1ppb或更低的NO检测敏 感度。30.如申请专利范围第25项所述的检测系统, 其还包括一除胺器,该除胺器不论对强或弱胺都具 有高效清除能力,被结合到第一空气通道上,以从 第一空气通道中流动的空气中清除胺,从而产生参 考空气试样。31.一监控取样空气中分子胺污染的 检测系统,该系统包括: 第一个空气通道传送一参考空气试样; 第二个空气通道传送一目标空气试样; 该第一和第二空气通道由对应细长具有内壁的管 限定,为接触流过其中空气曝露的内壁对胺是惰性 的; 一加热系统加热第一和第二空气通道; 一转换器被结合在第二空气通道上使目标空气试 样中的分子胺污染物转换成NO;及 一化学发光NO检测器系统被结合在第一和第二空 气通道上来确定参考空气试样和目标气试样中NO 浓度; 其中取样空气中总胺污染物浓度可根据目标空气 试样和参考空气试样中NO浓度之间的差异来确定 。32.如申请专利范围第31项所述的检测系统,其中 该等管限定第一和第二空气通道,其各具有为接触 流过其中的空气而被曝露的矽石内表面。33.如申 请专利范围第31项所述的检测系统,其中第一和第 二空气通道分别由环氧树脂增强的玻璃管构成。 34.一监控取样空气中分子胺污染的方法,该法包括 : 提供一参考空气试样; 提供一目标空气试样; 使空气试样中的胺转换成NO; 在150毫巴或更低的压力条件下由化学发光确定参 考空气试样和目标空气试样中的NO浓度;及 由目标空气试样和参考空气试样中的NO浓度之间 差异来确定总胺污染物浓度。35.如申请专利范围 第34项所述的方法,其中在125毫巴或更低的压力下 由化学发光来确定参考空气试样和目标空气试样 中的NO浓度。36.一监控取样空气中分子胺污染的 方法,该法包括: 从一区域取样空气; 传送取样空气至一涤气器,该涤气器对强或弱胺都 具有高效清除能力; 传送洗净空气试样至一转换器,使其中的胺转换成 NO,提供一参考空气试样; 传送取样空气至一转换器,使其中的胺转换成NO,提 供一目标空气试样; 由化学发光确定参考空气试样和目标空气试样中 的NO浓度; 由目标空气试样和参考空气试样中所确定的NO浓 度之间的差异来确定总胺污染物浓度。37.如申请 专利范围第36项所述的方法,其中参考空气试样和 目标空气试样中NO浓度是在相同的十分钟时间内 确定的。38.如申请专利笳围第36项所述的方法,其 中参考空气试样和目标空气试样中NO浓度是在基 本上同一时间确定的。图式简单说明: 第一图为使用污染物检测系统的一远紫外光刻法 处理装置的一平面图。 第二图为过滤介质的平行托盘一示意图。 第三图为未转换试样气体的一碰撞取样器示意图 。 第四图为第一图中所示过滤塔的一放大图。 第五图为权利要求1检测系统的转换-检测子系统 一示意图。 第六图为适应第五图包括一涤气器的转换-检测子 系统一示意图。 第七图为一流程图说明第一图的检测系统校准过 程。 第八图为一流程图说明第一图实施例的连续操作 和校准。 第九图为一流程图说明对第一图实施例的处理工 具和过滤系统的监控和控制。 第十图为作为一活动检测装置的总胺检测器一示 意图。 第十一图为一光刻系统的示意图,其中一总胺检测 器与一轨道相结合。 第十二图为总胺检测的一试样传送系列示意图,设 有一胺涤气器以产生一内部参考,其中一减压器位 于胺涤气器的上游。 第十二图a说明分雕的减压器,第十二图b说明一涤 气器配置,第十二图b和第十二图c说明热转换器配 置在第十二图的系统中是普遍而有用的。第十二 图d为三个串联结合在一起的转换器示意图。第十 二图e为一检测系统的示意图,该系统包括结合到 一NO检测器上的三个单独试样通道。 第十三图为类似于第十二图的一试样传送系列示 意图,其中一隔离阀位于一胺涤气器的上游。 第十四图为是类似于第十三图的一试样传送系列 示意图,其中减压器位于热催化转换器的下游。 第十五图为是类似于第十三图的一试样传送系列 示意图,其中减压器位于胺涤气器和选择阀的下游 。 第十六图为类似于第十二图为了避免NOx在取样现 场内变异的一执行系统示意图。 第十七图为确定最佳试样费用与取样频率的一工 艺流程图。 第十八图为说明第十七图工艺的操作表。 第十九图为根据过去性能确定取样序列的工艺流 程图。 第二十图为根据平均浓度确定取样序列的工艺流 程图。 |
