发明名称 APPARATUS FOR HEAT TREATMENT
摘要
申请公布号 KR100270422(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19937003897 申请日期 1993.12.15
申请人 ASM JAPAN K.K. 发明人 KYOGOKU, MITSUSUKE
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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