| 摘要 |
<p>Beim Bearbeiten von Substraten (1) in mehreren hintereinander angeordneten Bearbeitungsautomaten (6, 8) wurden in jedem Bearbeitungsautomaten (6, 8) die Lagekoordinaten der Substrate (1) sowie zusätzliche geometrische Daten über Schaltungsmarkierungen oder Funktionsmarkierungen ermittelt und für die Bearbeitung benutzt. Erfindungsgemäß werden die geometrischen Daten nur im ersten Bearbeitungsautomaten (6) ermittelt und über ein Bussystem (13) an den zweiten Bearbeitungsautomaten (8) übermittelt und im zweiten Bearbeitungsautomaten (8) benutzt, was zu einem geringeren Zeitaufwand führt.</p> |
