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发明名称 ELEMENT SEPARATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100236720(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970013254 申请日期 1997.04.10
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KANG, CHANG-YONG;PARK, HONG-BAE;KIM, YOUNG-KWAN
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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