| 发明名称 |
METHOD FOR SUPPLYING PURE WATER IN WET ETCHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11222682(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980025617 |
申请日期 |
1998.02.06 |
| 申请人 |
ROHM CO LTD |
发明人 |
SHIOMI KAZUHIKO;JODAI KAZUO |
| 分类号 |
C23F1/08;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/08 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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