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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR PRODUCING A QUARTZ GLASS PREFORM BY VAPOUR PHASE DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR100197470(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960030029 申请日期 1996.07.24
申请人 HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. 发明人 RUPPERT, KLAUS DR.;STEINKOHL, ANTON
分类号 C03B37/018;C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;(IPC1-7):C03B20/00 主分类号 C03B37/018
代理机构 代理人
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