采用复式光栅对加工/测量误差进行实时修正的方法及装置

摘要

本发明属于精密测量技术领域,其方法包括:在被测设备上安装复式光栅;对每个光栅输出的光电信号进行读数处理得到每个光栅处的位移测量结果;计算出相应的导轨运动的转角误差,再计算出转角误差所导致的最终误差。把误差从测量结果中修正掉并显示修正后的结果。其装置包括复式光栅,PC机的光栅读数装置。本发明具有简单、可靠、成本低等优点。尤其适用于中低精度的坐标测量设备和加工机床的精度升级改造。

主权项

1．一种采用复式光栅对测量/加工误差进行实时修正的方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)在被测的测量/加工设备的每个坐标方向上安装由多根空间相互平行的光栅组成的复式光栅；(b)通过光栅读数系统对该复式光栅中每个光栅输出的光电信号进行读数处理得到每个光栅所在空间位置处的位移测量结果；(c)根据各平行的光栅的位移测量结果的差计算出相应的导轨运动的转角误差，再通过误差模型实时地计算出上述转角误差所导致的最终误差。(d)把计算出的误差从测量结果中修正掉并显示修正后的结果。