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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND LASER BEAM IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH118205(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19980012240 申请日期 1998.01.26
申请人 SHARP CORP 发明人 MITANI YASUHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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