| 发明名称 |
PLASMA CVD DEVICE, AND FORMATION OF MAGNESIUM OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10298765(A) |
申请公布日期 |
1998.11.10 |
| 申请号 |
JP19970102961 |
申请日期 |
1997.04.21 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YASUI HIDEAKI;KUDO MASATOSHI;TANAKA HIROYOSHI;MURAI RYUICHI;SASAKI YOSHIKI;SHIOKAWA AKIRA |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/452;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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