| 发明名称 |
CVD RAW MATERIAL FOR LEAD TITANATE-BASED DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITOR FOR MEMORY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10298762(A) |
申请公布日期 |
1998.11.10 |
| 申请号 |
JP19980122470 |
申请日期 |
1998.05.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
UCHIKAWA HIDEFUSA;MATSUNO SHIGERU;KINOUCHI SHINICHI;WATAI HISAO |
| 分类号 |
C01G23/00;C01G25/00;C23C16/40;C30B29/32;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C01G23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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