| 发明名称 |
LENS VOLTAGE SETTING METHOD OF INSPECTION DEVICE AND INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10269982(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970091422 |
申请日期 |
1997.03.26 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
TAKEKOSHI HIDEKAZU;HAMASHIMA MUNEKI |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/153;H01J37/20;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/29;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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