| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PROPERTY EVALUATION OF SURFACE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10267882(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970069774 |
申请日期 |
1997.03.24 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
DOI NORIFUMI;YAMASHITA MASATO;NAGANO HIROO |
| 分类号 |
G01N27/22;G01N27/24;(IPC1-7):G01N27/24 |
主分类号 |
G01N27/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
