| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10261792(A) |
申请公布日期 |
1998.09.29 |
| 申请号 |
JP19970064141 |
申请日期 |
1997.03.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MURAKAMI HIDEKAZU;NISHIDA AKIO;KIMURA SHINICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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