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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10209273(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970005833
申请日期
1997.01.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KATO HIROYUKI
分类号
H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
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