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发明名称
摘要
申请公布号
JP2720835(B2)
申请公布日期
1998.03.04
申请号
JP19950157725
申请日期
1995.06.23
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
KATO TOSHIHIRO
分类号
G01N1/28;H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
G01N1/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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