发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1027881(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960183094 申请日期 1996.07.12
申请人 NEC CORP 发明人 OBA HIROYUKI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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