发明名称 液态原料气化装置及喷气装置
摘要 本发明摘示一种气化装置,该气化装置能够有效率地气化液体物质以经由容许供进料液体完全气化所需充分的停留时间(dwell time),防止气化后的进料气体降解及将气化进料气体稳定地供给到基材而制造高介电薄膜装置。该气化装置包括一个具有圆筒形内表面的外组成件,一个具有正对该外组成件所具圆筒形内表面的圆筒形外表面之内组成件,且在该圆筒形内表面和该圆筒形外表面中的至少一者以上形成一有螺旋构型的进料物质通道。该进料物质通道系与一进料液体进入开口和一进料气体出口相通。在该外组成件和内组成件中至少一者之上装设一供加热彼等所用的加热装置。
申请公布号 TW322602 申请公布日期 1997.12.11
申请号 TW086104281 申请日期 1997.04.03
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 小榑直明;本乡明久;村上武司;福永由纪夫
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人 洪武雄 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼;陈灿晖 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼
主权项 1.一种用于将液体原料转化成进料气体的气化装置,该装置包括:一外组成件,具有一圆筒形内表面,一内组成件,具有面对该外组成件所具圆筒形内表面之圆筒形外表面,一进料物质通道,具有螺旋构型且其系在该圆筒型内表面与该圆筒形外表面中的至少一者之上形成的,该进料物质通道系与一进料液体入口和一进料气体出口相通;及一加热装置,以加热该外组成件和该内组成件中的至少一者。2.如申请专利范围第1项之气化装置,其中该外组成件与该内组成件系配置成可相对地转动者,该装置包括一驱动源以转动该外组成件和内组成件中的至少一者。3.如申请专利范围第2项之气化装置,更包括一装设在该进料物质通道下游段上的压力产生段以对经由该外组成件与该内组成件之间的该相对转动所帮助而在该进料物质通道内下降的该进料气体维持住一反压。4.如申请专利范围第1项之气化装置,其中该外组成件和该内组成件系在该进料物质通道的下游位置连接到一反应容器上。5.如申请专利范围第1项之气化装置,其中在该进料物质通道的下游位置装设有一混合空间以混合从进料物质通道降下来的进料气体与从外部来源导入的反应性气体。6.如申请专利范围第3项之气化装置,其中该压力产生段系装设成与该进料物质通道的下游端相通,且装设有一在该混合空间内部旋转的叶轮。7.如申请专利范围第3项之气化装置,其中该压力产生段包括在该内组成件和外组成件中的至少一者之上形成的一个凹凸段。8.如申请专利范围第1项之气化装置,更包括一个气体射出头,该气体射出头具有喷口以产生流到基材上的进料气体流,该气体射出头系与该进料物质通道的下游端相通。9.如申请专利范围第8项之气化装置,其中该气体射出头系与该外组成件与该内组成件中转动的该者形成一单元。10.如申请专利范围第3项之气化装置,其中在该外组成件和该内组成件上所装设的该进料物质通道的下游位置上形成有一阶段,且该压力产生段包括在该有阶段中至少一者中所装设的离心叶轮。11.如申请专利范围第1项之气化装置,其中该外组成件系固定者而该内组成件系转动的。12.一种喷气装置,系用于将进料气体喷射到配置在反应容器中的基材之上者,该喷气装置包括一气化器段,该气化器段系用于经由加热液体物质以产生进料气体者,及一气体射出头段用以产生射到该基材上的该进料气体流,其中该气化器段与该气体射出头段系经配置形成一热均匀单元。13.如申请专利范围第12项之喷气装置,其中该气化器段与该气体射出头段共有一共同外壳。14.如申请专利范围第12项之喷气装置,其中该外壳装设着该气化器段和气体射出头段所共有的加热介质通道。15.如申请专利范围第12项之喷气装置,其中该气化器段包括:一有圆筒形内表面之外组成件,一有正对该外组成件所具圆筒形内表面的圆筒形外表面之内组成件,在该圆筒形内表面和圆筒形外表面中的至少一者之上形成的一有螺旋构型的进料物质通道,该进料物质通道系与进料液体入口和进料气体出口相通的;及一加热装置以加热该外组成件和内组成件中的至少一者。16.如申请专利范围第12项之喷气装置,其中该气化器段与该气体射出头段共有一共同的流体调整空间以容纳液体-至-气体相变化所产生的体积膨胀效应及将进料气体分配到该气体射出头段之衆多喷口。17.如申请专利范围第16项之喷气装置,其中该液体调整空间装设有一供给通道以导入不同于该进料气体之气体。18.一种喷气装置,系用以将进料气体射出到配置于反应容器中的基材上,该喷气装置包括一气化器段以经由加热液体原料产生进料气体及一气体射出头段与该气化器段相通以产生射到该基材上的该进料气体流,其中该气化器段与该气体射出头段系被包覆在一热绝缘单元内。图示简单说明:第一图为本发明装置第一实施例的整体横断面图。第二图为一图形,其中显示第一图所示实施例中沿进料物质流动途径的压力分布。第三图为第一图的重要部份之放大图。第四图为本发明气化装置中所用雾化段或气化段的另一实施例。第五图为本发明气化装置的另一实施例。第六图为本发明气化装置的又另一实施例。第七图为第六图所示实施例装置中所含离心轮叶的概示图。
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