| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines keramischen Multilayer-Substrats, insbesondere eines LTCC-Substrats, vorgestellt, wobei auf mehreren grünen Keramikfolien Leiterbahnen und Durchkontaktierungen in einem Druckprozeß unter Verwendung einer ein Wachs als Druckträger enthaltenden Leitpaste, welche frei von leichflüchtigen Lösungsmitteln ist, hergestellt werden, und anschließend die grünen Keramikfolien in einem Stapel übereinander angeordnet und gebrannt werden. Die sonst übliche zeitaufwendige Trocknung der grünen Keramikfolien zur Verdampfung des benutzten Lösungsmittels entfällt. Die Folien können unmittelbar nach dem Drucken der Leiterbahnen und Durchkontaktierungen gestapelt und gebrannt werden. Darüber hinaus besteht der große Vorteil, daß eine Schrumpfung der Leiterbahnen und der grünen Keramikfolien vor dem Brennen vermieden wird, wodurch die Präzision des hergestellten keramischen Multilayer-Substrats entscheidend verbessert wird.</p> |
