发明名称 INKINGUSOCHI
摘要
申请公布号 JP2657320(B2) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 JP19890245961 申请日期 1989.09.20
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 OGASAWARA IKUO
分类号 H01L21/66;B41F17/36;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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