发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09186342(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19960301252 申请日期 1996.10.24
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 KUSUMOTO NAOTO;TAKAYAMA TORU;YONEZAWA MASAHITO
分类号 H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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