发明名称 Kemiallinen märkäkäsittelylaitteisto
摘要
申请公布号 FI972733(A0) 申请公布日期 1997.06.25
申请号 FI19970002733 申请日期 1997.06.25
申请人 STEAGMICRO TECH GMBH 发明人 DURST, JOHANN;SIGEL, HOLGER;SCHULZ, WERNER
分类号 H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/677;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址