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发明名称 SHAPE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09101137(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950256159 申请日期 1995.10.03
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME;MAEDA NOBUO;YASUI KENGO
分类号 G01B21/20;G01B21/30;G01M11/00;(IPC1-7):G01B21/20 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
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