发明名称
摘要
申请公布号 JP2539193(B2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 JP19850283226 申请日期 1985.12.18
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 UESUTON AASAA ANDAASUN
分类号 H01J35/00;H01J35/04;H01J35/10;H01J35/12;H01J35/16;H01J35/24;(IPC1-7):H01J35/10 主分类号 H01J35/00
代理机构 代理人
主权项
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