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发明名称 Verfahren zur Feststellung der elektrischen Eigenschaften eines Silizium-Monokristalles
摘要
申请公布号 DE69120032(D1) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 DE1991620032 申请日期 1991.11.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 FUSEGAWA, IZUMI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;YAMAGISHI, HIROTOSHI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;FUJIMAKI, NOBUYOSHI, ANNAKA-SHI, GUNMAN-KEN, JP;KARASAWA, YUKIO, TAKASAKI-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 H01L21/66;G01N27/92;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01N27/92;C30B33/00;C30B33/08 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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