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经营范围
发明名称
PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08176822(A)
申请公布日期
1996.07.09
申请号
JP19940335963
申请日期
1994.12.22
申请人
TORAY IND INC
发明人
UEDA YUKINORI;YASUDA TOSHIO;FUKUSHIMA KAZUHIRO
分类号
C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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