| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08162294(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
JP19940331290 |
申请日期 |
1994.12.08 |
| 申请人 |
DAIDO STEEL CO LTD |
发明人 |
OOKURA SUEYOSHI;MATSUI KOJI;TOMITA YOSHIYUKI |
| 分类号 |
H05H1/46;B08B7/00;C23G5/00;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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