发明名称 Verfahren zur Herstellung eines kapazitiven Drucksensors
摘要
申请公布号 DE4244450(C2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19924244450 申请日期 1992.12.23
申请人 YAMATAKE-HONEYWELL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIMURA, SHIGEO, FUJISAWA, KANAGAWA, JP;ISHIKURA, YOSHIYUKI, FUJISAWA, KANAGAWA, JP;MASUDA, TAKASHI, FUJISAWA, KANAGAWA, JP;KUROIWA, TAKAAKI, FUJISAWA, KANAGAWA, JP;KIHARA, TAKASHI, FUJISAWA, KANAGAWA, JP
分类号 G01L9/12;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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