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发明名称 A BiCMOS process
摘要
申请公布号 EP0424298(B1) 申请公布日期 1996.04.10
申请号 EP19900480128 申请日期 1990.08.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LECHATON, JOHN S.;SCHEPIS, DOMINIC J.
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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