Vorrichtung zum Aufbringen eines Leiterbahnmusters unter Verwendung eines Rastertunnelmikroskops.,申请号DE1990616823T-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zum Aufbringen eines Leiterbahnmusters unter Verwendung eines Rastertunnelmikroskops.
摘要
申请公布号	DE69016823(T2)	申请公布日期	1995.09.21
申请号	DE1990616823T	申请日期	1990.05.07
申请人	OLYMPUS OPTICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	OHTA, HIROKO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;SHIMIZU, RYOUHEI, KOSHIGAYA-SHI, SAITAMA-KEN, JP;KOUCHI, TOSHIHITO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;TODA, AKITOSHI, TOKYO, JP;ISONO, YASUO, FUSSA-SHI, TOKYO, JP;MIMURA, YOSHIYUKI, TOKYO, JP;KAJIMURA, HIROSHI, SUGINAMI-KU, TOKYO, JP
分类号	H01J37/26;G01Q60/10;G01Q70/06;G01Q80/00;H01J37/28;H01J37/317;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/14;(IPC1-7):H01J37/317;G01N27/00;H01L21/027;H05K3/10	主分类号	H01J37/26
代理机构		代理人
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