| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR CONTACT MASKING AND MATCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07176533(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19920089857 |
申请日期 |
1992.03.13 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
DEBITSUDO JIEI PAARUMAN;HAWAADO ERU KERII;HANSU KORAN |
| 分类号 |
G03F9/00;G01B11/27;G03F7/20;H01L21/60;H01L25/00;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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